İki Sovyet bilim adamı, Br Lazarenko ve Ni Lazarenko, 1943'te kıvılcım nedeniyle tungsten elektrik temaslarının erozyonunu önleme yollarını araştırmakla görevlendirildi. Bu görevde başarısız oldular, ancak elektrotlar bir dielektrik sıvıya daldırıldıysa erozyonun daha hassas bir şekilde kontrol edildiğini buldular.
Eşzamanlı olarak ama bağımsız olarak, bir Amerikan ekibi Harold Stark, Victor Harding ve Jack Beaver, alüminyum dökümlerden kırık matkapları ve muslukları çıkarmak için bir EDM makinesi geliştirdi.
1960'larda sertleştirilmiş çelikten aletler (kalıplar) yapmak için tel kesilmiş makine tipi ortaya çıktı. Tel Cut EDM'deki takım elektrot sadece bir teldir. Telin erozyonundan kaçınmak için telin aktif kısmı sürekli değişmesi için tel iki makara arasında sarılır. En eski sayısal kontrollü (NC) makineler, delinmiş-alıntı dikey freze makinelerinin dönüşümleriydi. Tel Cut EDM Makinesi olarak inşa edilen ticari olarak temin edilebilen ilk NC makinesi, 1967 yılında SSCB'de üretildi. Master çiziminde optik olarak takip edebilen makineler, 1960'larda Andrew Engineering Company'de öğütme ve öğütme için David H. Dulebohn'un grubu tarafından geliştirildi. makineler. Ana çizimler daha sonra daha fazla doğruluk için bilgisayar sayısal kontrollü (CNC) çiziciler tarafından üretildi. 1974'te CNC çizim plotter ve optik çizgi takipçi teknikleri kullanılarak bir tel kesilmiş EDM makinesi üretildi. Dulebohn daha sonra EDM makinesini doğrudan kontrol etmek için aynı plotter CNC programını kullandı ve ilk CNC EDM makinesi 1976'da üretildi.
Ticari tel EDM kabiliyeti ve kullanımı son yıllarda önemli ölçüde ilerlemiştir. Besleme oranları artmış ve yüzey kaplaması ince kontrol edilebilir.